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怎樣防止無塵室中的微粒子污染?

發(fā)布時間:2023-08-23 21:45:17 人氣:8191


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無塵室內的浮游微粒子濃度,利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平,實際的生產現(xiàn)場因為作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的整機資料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內該如何避免微粒子沾染呢?應依照下列四項基本準則:

  一、不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,機臺、整機攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產生靜電的具特別導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后,才干進入無塵室。
4)機器及資料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  二、不產生
在把持最大沾染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時,也應把持第二大沾染源—制造機臺的發(fā)塵量。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。因物品在挪動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在挪動時也會有微粒子的產生。故為了把持發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作狀況;
2)采取磨耗發(fā)塵小的材質;
3)采取發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

  三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧,無塵室內的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在寬大的無塵室內要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產生的微粒子變得十分重要。通常已產生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子沾染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動。這是在約10秒內將室內空氣跟完全過濾空氣完全交換所盤算出來的數(shù)值。同時,空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無阻,因為在流暢途徑中有妨礙物的話,輕易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得鄰近已產生的微粒子無奈疾速消除而長時光漂流在無塵室內,而一局部會附著在周邊機器設備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積,但對帶電名義的微粒累積就無奈避免。
無塵室內的浮游微粒子濃度,利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平,實際的生產現(xiàn)場因為作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的整機資料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內該如何避免微粒子沾染呢?應依照下列四項基本準則:

  一、不攜入
在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,機臺、整機攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產生靜電的具特別導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后,才干進入無塵室。
4)機器及資料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  二、不產生
在把持最大沾染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時,也應把持第二大沾染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在挪動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在挪動時也會有微粒子的產生。故為了把持發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作狀況;
2)采取磨耗發(fā)塵小的材質;
3)采取發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。

  三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧,無塵室內的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在寬大的無塵室內要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產生的微粒子變得十分重要。通常已產生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子沾染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動。這是在約10秒內將室內空氣跟完全過濾空氣完全交換所盤算出來的數(shù)值。同時,空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無阻,因為在流暢途徑中有妨礙物的話,輕易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得鄰近已產生的微粒子無奈疾速消除而長時光漂流在無塵室內,而一局部會附著在周邊機器設備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積,但對帶電名義的微粒累積就無奈避免。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

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